创新驱动 科利德聚焦新材料跑出"加速度"

大连新闻传媒集团记者刘蕴哲

近日，在松木岛化工产业开发区，大连科利德光电子材料有限公司高纯电子气体和半导体前驱体生产车间处于满产状态。高纯电子气体如同半导体产业的“血液”，广泛参与半导体制程工艺，国内高度依赖进口，市场需求量可观。“今年一季度，企业销售收入同比增长50%，预计全年销售收入将达到3亿元。”该企业董事长赵毅表示，筹划增加产品品种、扩大产能的同时，企业将聚焦半导体核心材料、攻关“卡脖子”关键共性技术，不断加强内生式创新能力。

大连科利德光电子材料有限公司创立于2007年，是专业从事高纯电子气体和半导体前驱体研发及产业化的国家高新技术企业，经多年发展，成为国内高纯电子气体和半导体前驱体产业的领军企业，已吸引高瓴资本、深圳力合创投等头部机构的战略投资，正着手登陆国内资本市场，计划在明年递交科创板的上市材料。

高纯电子气体和半导体前驱体是大规模集成电路、化合物半导体器件、新型显示器件、太阳能电池、LED芯片、光电子器件等制造过程中不可缺少的材料，是支撑电子信息产业自主安全发展的关键基础。起步之初，大连科利德就把目光瞄准国家急需的先进电子材料，组建了一支由行业专家及国家级领军人才组成的核心技术团队，在制备工艺、通量计算合成、多级吸附纯化、低温连续精馏、洁净罐装、前沿分析技术等方面先后形成专利技术70余项，制定国家和行业标准13项。

以创新打造企业核心竞争力。大连科利德在国内首家实现7N级超高纯氨、6N级高纯三氯化硼等高纯电子气体和半导体前驱体研发及产业化，产品技术达到国际先进水平，填补国内空白，使我国成为继美国、日本之后第三个实现该纯度产品产业化的国家。该企业2021年跻身首批国家重点支持的“专精特新”小巨人企业行列，获得国家传感器“一条龙”示范企业、辽宁省“瞪羚”企业以及国家重点新产品奖、中国半导体创新产品和技术奖等奖项。

目前，国内半导体生产线数量日渐增加，芯片线宽从微米级提升至纳米级，大连科利德凭借创新研发实力、过硬的产品质量，在新材料领域跑出“加速度”。其自主研发的高纯电子气体和半导体前驱体产品，应用于台积电12英寸5纳米制程集成电路、中芯国际12英寸28纳米制程集成电路等先进制造领域。

随着半导体产业蓬勃发展，业界对电子气体纯度和半导体前驱体品质要求越来越高，大连科利德正着手新建研发中心，在自主研发与产学研用协同创新方面持续发力。科利德研发团队目前承担辽宁省首批“揭榜挂帅”科技攻关项目和大连市首批“揭榜挂帅”卡脖子技术攻关专项，聚焦国际最先进前沿技术，针对集成电路新材料领域关键技术加大研发力度，向产业链、价值链的最高端全力迈进。